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贝尔金为精密测量仪打造宁静港湾:落地隔振平台安装实例

作者: 来源: 日期:2025-11-18 9:07:06 人气:54

在现代科研与工业领域,精密仪器如半导体、测量仪、光刻机等,对环境的微振动极其敏感。地面的微小震动,如人员走动、车辆经过甚至空调运行,都可能像“地震”一样干扰其测量精度和成像质量。为此,为其安装一个专业的落地隔振平台,就如同为它打造了一个“宁静的港湾”。

项目背景:

某高校材料科学实验室新购入一台高精密测量仪,实验室位于一楼,临近马路,初步振动测试显示,主要干扰频率在5-20Hz范围内,远超设备允许值。因此,决定为其安装一台落地隔振平台




安装过程实录:


第一步:前期勘察与场地准备

这是成功安装的基础。我们的工程师首先对实验室地面进行了平整度检测,确保在平台范围内高低差小于3mm。同时,确认了楼板的承重能力,并精准定位了设备所需的电源、压缩空气接口以及网络线缆的位置。根据平台和测量仪的总重量及尺寸,我们与实验室负责人共同确定了最终的安装位置,并清空了场地。

第二步:平台就位与初步调平

平台主体通过叉车运至指定位置。由于平台自重较大,我们小心翼翼地将隔振平台移动到位。随后,通过平台底部的机械调平螺丝进行初步高度和水平调整。这个过程需要耐心,确保平台基本处于水平状态,为后续的气浮系统启动做好准备。

第三步:连接气源与电源,启动系统

将工厂洁净的压缩空气管路通过高压软管连接到平台的进气接口。在连接前,特意打开气源阀门,短暂排气以清除管路中的任何杂质和水分。接着,连接平台的主动控制系统电源。一切就绪后,启动系统。伴随着轻微的排气声,气浮隔振器开始充气,将平台主体平稳地顶起,进入“悬浮”工作状态。此时,机械调平螺丝已不再承重。

第四步:精调与测试

平台安装后,使用高精度电子水平仪再次检查平台面的水平度,并通过控制系统的进行微调,确保达到“±0.1°”以内的水平精度。实时监测并抵消传入的振动。我们使用独立的振动分析仪在平台台面上进行测试,确认振动水平已成功降至0.8μm/s以下,完全满足光刻机的苛刻要求。


通过这次安装,该实验室的测量仪器得以在近乎“零振动”的环境中稳定运行,科研数据的可靠性得到了根本性保障。一个专业的落地隔振平台,不仅是设备的基座,更是科研成果的坚实守护者。




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